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特點：

■便攜式氣體檢測儀，用于 NF3 檢測。無需任何可選設(shè)備即可檢測 NF3。

■ 校準后的氣體傳感器單元可在現(xiàn)場更換，減少維護工作。

■ 大液晶屏

■ 2路電源：干電池和交流電源（可選）

■ 小巧輕便

■ 警報聲音的速度根據(jù)氣體濃度而變化。

可選測量氣體：

氨[NH3]，硅烷[SiH4]，二氯硅烷[SiH2Cl2]，砷烷[AsH3]，膦[PH3]，，硒化氫【H2Se】，鍺烷【GeH4】，氯[Cl2]，，氯化氫【HCI】，氫氟化物【HF]，溴化氫【HBr】，一氧化氮【NO】，硫化氫【H2S】，一氧化碳【CO】，二硅烷【Si2H6】，氟【F2】，臭氧【O3】，三氟化氮【NO3】

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中崎目前已獲得CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫真化學、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機、HAYASHI林時計、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學、SIBATA柴田科學、HORIBA堀場、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、NPM脈沖、AND愛安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業(yè)、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權(quán)認證。